河鋼邯鋼“芯片氪”,替代進口,助力芯片國產化

河鋼邯鋼“芯片氪”,替代進口,助力芯片國產化

  • 2022年01月13日 07:45
  • 來源:中國鐵合金網

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  • 關鍵字:河鋼邯鋼,芯片氪,芯片國產化
[導讀]該產品將作為刻蝕氣體替代進口產品,用于制造IDM集成電路芯片,助力芯片國產化。

[Ferro-Alloys.com]

芯片是信息社會的基石。近年來芯片需求迅速擴大,芯片行業發展備受關注。
 
在芯片制造過程中,不僅需要用到光刻機、硅片等核心設備或材料,還需要用到一種特殊氣體,業內稱之為電子特氣。 
 
電子特氣廣泛應用于半導體制造的各個工藝流程,參與幾乎每一個環節,對整個芯片制造來說不可或缺,有半導體制造的“血液”之稱。
 
近年來芯片國產化程度不斷提升,電子特氣作為關鍵領域,也在加快推進國產化進程。
 
氪氣是電子特氣家族的一員,它作為刻蝕氣體貫穿整個芯片刻蝕過程,起著清潔刻蝕表面雜質和保護電路不被氧化的作用。
 
近日,由河鋼邯鋼研發生產的電子特氣產品“芯片氪”,交付高端科技客戶,質量完全滿足客戶需求。該產品將作為刻蝕氣體替代進口產品,用于制造IDM集成電路芯片,助力芯片國產化。
 
氪氣的純度會影響到集成電路性能等關鍵指標,所以用于芯片制造的氪氣對純度要求極高,生產工藝難度大。隨著芯片制程的微縮,半導體生產對“芯片氪”等電子特氣的純度提出了更高的要求,而這類高端電子特氣領域長期被國外壟斷,進口價格昂貴。 
 
國產“芯片氪”等電子特氣替代進口,可降低國產芯片產業制造成本,有助于提高國產芯片在全球芯片產業中的競爭力。
 
河鋼邯鋼加快培育壯大戰略性新興產業,充分發揮省級高純特種氣體工程實驗室作用,積極開展航天級稀有氣體研制、電子芯片用特種氣體配制及稀有氣體分離設備關鍵部件研制,不斷加大氪、氖、氙、氬、氖等特種氣體以及混合氣體的市場開發力度,提升氣體產品競爭力。
 
針對芯片制造對氣體純度和雜質控制的極高要求,河鋼邯鋼高純特種氣體工程實驗室技術人員,突破了電子特氣國產化的諸多技術瓶頸,掌握了多項特氣提純關鍵技術,采用自主研發的全自動配氣裝置,配制出多種電子級混合氣,填補了國內空白。
 
此次供貨,河鋼邯鋼根據客戶工藝流程和所需刻蝕氣體的品質需求,制定了專屬工藝方案,嚴格過程質量控制,保證了產品高質量交付,獲得客戶高度認可。下一步,雙方還將就其他氣體產品開展合作。
 
摘自  河鋼邯鋼微信公眾號

 

  • [責任編輯:kangmingfei]

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